Поиск по каталогу |
(строгое соответствие)
|
- Профессиональная
- Научно-популярная
- Художественная
- Публицистика
- Детская
- Искусство
- Хобби, семья, дом
- Спорт
- Путеводители
- Блокноты, тетради, открытки
Studies on structural and dielectric properties of ?-Ga2O3 thin films.
В наличии
Местонахождение: Алматы | Состояние экземпляра: новый |
Бумажная
версия
версия
Автор: Sang A LEE
ISBN: 9783659638916
Год издания: 2014
Формат книги: 60×90/16 (145×215 мм)
Количество страниц: 136
Издательство: LAP LAMBERT Academic Publishing
Цена: 36556 тг
Положить в корзину
Позиции в рубрикаторе
Отрасли знаний:Код товара: 141955
Способы доставки в город Алматы * комплектация (срок до отгрузки) не более 2 рабочих дней |
Самовывоз из города Алматы (пункты самовывоза партнёра CDEK) |
Курьерская доставка CDEK из города Москва |
Доставка Почтой России из города Москва |
Аннотация: In this study we report on structural and electric properties of ?-Ga2O3 on Si and GaN substrates. Since Ga2O3 has a band-gap of 4.8 eV at room temperature and a dielectric constant of 10.2~14.2, Ga2O3 can be a potential candidate dielectrics for MIS devices. ?-Ga2O3 has been deposited using various techniques such as radio-frequency sputtering, plasma enhanced atomic layer deposition (PEALD), and pulsed laser deposition (PLD). In particular, epitaxial Ga2O3 thin films grown on n-GaN/Al2O3 substrate by PLD technique have a monoclinc ?-Ga2O3 phase and peaks were indexed as (-2 0 1) and higher order diffractions. Optical transmittance of the epitaxial ?-Ga2O3 film was more than 90% from UV to visible spectral regions and the optical band-gap of the ?-Ga2O3 was calculated to be about 4.8 eV. Moreover, we have fabricated MFIS capacitors using Ga2O3 and Ba0.5Sr0.5TiO3 (BST) thin films on GaN/Al2O3 substrate by pulsed laser deposition. The epitaxial growth, structural analysis, and dielectric properties of the Ga2O3 films and BST thin films will be discussed.
Ключевые слова: GaN, transparent, MOS structure, Ga2O3, C-V