Полупроводниковые тензочувствительные элементы датчиков давлений. Основы проектирования и методы изготовления

      Аннотация: Давление является одной из основных величин, связанных с описанием жидких и газообразных сред. Большое разнообразие систем, в том числе и датчиковой аппаратуры, для измерения давлений объясняется тем, что понятие «давление» охватывает протяженную область значений – от сверхвысокого вакуума до сверхвысоких избыточных давлений. В данной работе рассматриваются основы проектирования, разработки, а также технологические аспекты изготовления полупроводниковых тензочувствительных элементов датчиков давлений, в частности, представлены общие вопросы измерения давления, тензоэффекта, принципы проектирования, разработки топологии, термокомпенсации полупроводниковых тензочувствительных элементов, а также рассмотрены основные технологические операции и методы их изготовления: химическая обработка пластин, окисление, диффузия, травление и др.

Ключевые слова: технология изготовления, датчик давления, полупроводниковый чувствительный элемент