Фундаментальные основы технологии мозаичных UHD фотоприемников. Технологический обзор: Создание UHD фотоприемников на основе микроболометров и многослойных структур с квантовыми ямами

      Аннотация: Фундаментальные исследования создания мозаичных фотоприемников (МФП) сверхвысокой размерности позволили оптимизировать прототип мозаичной технологии с уменьшением "слепых зон" пут?м достижения минимальных областей повреждения кра?в при разделении пластин на кристаллы с обеспечением минимальных зазоров между кристаллами смежных субмодулей в составе прецизионной микросборки МФП до величины не более 2-3 мкм для разных определяющих полупроводниковых материалов. Исследованы базовые параметры ИК МФП сверхвысокой размерности в зависимости от длины волны максимума спектральной характеристики фоточувствительности многослойных структур с квантовыми ямами (МСКЯ), шага МСКЯ и формата субмодулей. Новые предложенные технологические варианты исполнения прототипов МФП сверхвысокой размерности виртуально перекрывают "слепые зоны" и обеспечивают предельную, 100%-ую, эффективность преобразования многомерных фотосигналов. Определено, что мозаичный принцип является одним из фундаментальных, технологических подходов для достижения сверхвысокой размерности ИК МФП с максимальной эффективностью преобразования изображений.

Ключевые слова: физика, фотоприемники, Мозаичная технология, сверхвысокая размерность, характеристики мозаичных приемников, микроболометры, многослойные структуры с квантовыми ямами, ИК и ТГц диапазоны