Исследование фундаментальных основ создания микротепловизоров. Технологический обзор основ создания микротепловизоров на кристаллах различных фотоприемников с оптическими выходами

      Аннотация: Фундаментальный результат научного исследования - обеспечение возможности создания микротепловизора с оптическим выходом на основе гибридного или монолитного, инфракрасного или терагерцового фотоприемника. Для достижения предельной микроминиатюризации микротепловизор с оптическим выходом изготавливают на основе бескорпусного фотоприемника в виде гибридной микросборки кристалла с матрицей nхm фотодетекторов и кристалла мультиплексора, с дополнительным (третьим) кристаллом оптических излучателей того же формата, или в виде мультиплексора с интегрированными на него массивами фотодетекторов и с дополнительным (вторым) кристаллом оптических излучателей той же размерности. В рамках обзора рассмотрены особенности мультиплексоров сигналов ИК ФП на основе HgCdTe диодов и GaAs/AlGaAs МСКЯ детекторов. Проведена сравнительная оценка NETD ИК ФП для детекторов на основе HgCdTe диодов, на основе GaAs/AlGaAs МСКЯ и сверхрешеток. Исследованы параметры мозаичных ИК ФП.

Ключевые слова: Мозаичная технология, мозаичные фотоприемники, технология создания микротепловизоров, Нанофотоэлектроника, фотоприемники с оптическими выходами, микротепловизоры, фундаментальные основы создания микротепловизоров