Поиск по каталогу |
(строгое соответствие)
|
- Профессиональная
- Научно-популярная
- Художественная
- Публицистика
- Детская
- Искусство
- Хобби, семья, дом
- Спорт
- Путеводители
- Блокноты, тетради, открытки
Кремниевые силицидные структуры на основе ионного легирования. Монография
В наличии
Местонахождение: Алматы | Состояние экземпляра: новый |
Бумажная
версия
версия
Автор: Б. Э. Эгамбердиев and Н.М. Рахимова
ISBN: 978-6-206-16404-3
Год издания: 1905
Формат книги: 60×90/16 (145×215 мм)
Количество страниц: 136
Издательство: LAP LAMBERT Academic Publishing
Цена: 33652 тг
Положить в корзину
Способы доставки в город Алматы * комплектация (срок до отгрузки) не более 2 рабочих дней |
Самовывоз из города Алматы (пункты самовывоза партнёра CDEK) |
Курьерская доставка CDEK из города Москва |
Доставка Почтой России из города Москва |
Аннотация: В монографии рассмотрены современные состояние и проблемы получения имплантированных слоев кремния, условия и методика проведения экспериментов в области молекулярно-лучевой эпитаксии, профили распределения концентрации составе слоев кремния, а также структурные и физические процессы в кремнии, ионно-имплантированных атомами переходных групп. Монография предназначена для преподавателей, магистров и студентов, а также для научных сотрудников и инженерно-технических работников занимающихся разработкой новых тонких пленочных материалов с модифицированными свойствами на основе кремниевых силицидных структур, полученных ионным легированием.
Ключевые слова: структуры, легирования, диаграмме