Особенности изготовления трех электродных термодатчиков.

      Аннотация: В монографии приведены трехэлектродные кремниевые структуры для термодатчиков. Для исследования были изготовлены 2 типа кремниевых p-n-структур, состоящих из эпитаксиального слоя n-типа, легированного фосфором в образцах типа I и в образцах типа II, который выращен на подложке кремния p-типа, ориентированного в плоскости и легированного бором.Исследования заключаются в разработке двухуровневой системы управления процессом дозирования при отбеливании тканей. При этом на нижнем уровне решается вопрос поддержания технологических параметров определенного значения на приемлемом уровне, а координация действий технологических агрегатов осуществляется на более высоком уровне.

Ключевые слова: термо датчик, приборы, аналог, процес, темпиратура, преобразователь, контакть